產(chǎn)品特性：

THA系列主動減振器主要應用于一些對微振敏感的高端檢測設備、精密儀器，以及對穩(wěn)定性要求極高的半導體行業(yè)的運動平臺。

當長行時間的圖像采集和持續(xù)的探針測量，就需要穩(wěn)定的微振解決設備，比如THA1和THA2。同時一些高端的運動平臺也需要主動減振，不但能提供優(yōu)異的減振性能，同時能讓運動平臺快速的穩(wěn)定下來，達到納米級精度，保持設備的穩(wěn)定性，提高設備的生產(chǎn)效率，比如THA3系列。






產(chǎn)品特點：

·輕巧便捷，安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用
·手動/自動調節(jié)水平，操作簡便
·6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅

·實時監(jiān)控臺面振動

產(chǎn)品應用：

顯微鏡、光學設備、檢測設備等

傳遞率







規(guī)格參數(shù)








產(chǎn)品特點：

·THA2系列氣浮式主動減振，針對掃描電鏡、透射電鏡、掃描隧道顯微鏡等超精密設備而研發(fā)
·采用三思高端型氣浮減振器進行基礎隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性

·三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實現(xiàn)6自由度主動減振。前饋控制技術與反饋控制相結合，在低頻范圍提供出色的隔振效果

·可選電控自動調平系統(tǒng)或機械調平系統(tǒng)，自動調整水平，一鍵啟動減振

產(chǎn)品應用：

顯微鏡、光學設備、檢測設備等

傳遞率



規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品結構說明：

產(chǎn)品特性

1. 安裝方便，無需氣源，接入電源即可使用；

2. 手動調節(jié)水平，操作簡便；

3. 模塊化的主動減振器，可根據(jù)設備重量和尺寸，制作成各種平臺；

4. 6自由度振動信號實時檢測，執(zhí)行器提供推力，主動衰減振幅；

5. 實時監(jiān)控臺面振動。

產(chǎn)品應用

顯微鏡、光學設備、檢測設備等

產(chǎn)品特性

1. THA3系列氣浮式主動減振，為光刻機等運動平臺設備而研發(fā)，消減大質量滑塊運動帶來的振動；

2. 采用三思高端型氣浮減振器進行基礎隔振，即使在安裝現(xiàn)場環(huán)境有不規(guī)律的沖擊振動時，也能確保持續(xù)的振動穩(wěn)定性；

3.三思自研的THA主動減振系統(tǒng)，實現(xiàn)6自由度主動減振。地面振動前饋與反饋控制相結合，提供出色的隔振效果；；

4. 運動前饋與速度反饋控制結合，有效消減平臺運動加速度，快速穩(wěn)定平臺振動；

5. 閥控氣動調平系統(tǒng)，可自由調整各減振器高度，一鍵啟動減振。

產(chǎn)品應用

半導體設備，及高精度、高速度加速度的精密運動平臺等

產(chǎn)品用途：

顯微鏡、光學設備、檢測設備等靜態(tài)設備或微動設備